DEVICE AND METHOD FOR GENERATING ULTRAVIOLET LIGHT

Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht. The invention relates to a device and method for generating ultraviolet light. The device comprises an emission area (14) for the ultraviolet light, an excimer-forming gas being present in said area. The device further comprises an electron source (2) for generating free electrons, which can be emitted into the emission area (14) and by which the gas can be excited. A microwave field (13) can be supplied to the emission area with the aid of a microwave source (11, 12), wherein the power of the microwave field (13) exceeds the power of an electron beam (8) generated by the electron source (2), and wherein at least some of the ultraviolet light is created in the region of the first excimer continuum. L'invention concerne un dispositif et un procédé de production de lumière ultraviolette. Le dispositif comprend une région d'émission (14) de lumière ultraviolette dans laquelle se trouve un gaz formant un excimère. Le dispositif comprend en outre une source d'électrons (2) servant à produire des électrons libres, qui peuvent être injectés dans la région d'émission (14) et qui permettent d'exciter le gaz. Un champ de micro-ondes (13) peut être appliqué à l'aide d'une source de micro-ondes (11, 12) à la région d'émission. La puissance du champ de micro-ondes (13) est supérieure à la puissance d'un faisceau électronique (8) généré par la source d'électrons (2) et la lumière ultraviolette est produite au moins en partie dans la zone du premier continuum de l'excimère.