FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD EMPLOYING SAME

Provided is a configuration in a film forming device which carries out a cat-CVD method wherein problems caused by deformation of a catalyst are alleviated and which is superior in terms of running costs and productivity. The film forming device comprises: a processing chamber capable of maintaining a decompression state internally; a gas introduction path (3) which introduces a prescribed source gas into the processing chamber; catalysts (41) which are disposed within the processing chamber such that the source gas introduced by the gas introduction path (3) either makes contact with the surface thereof or passes close to said surface; a power supply (5) which applies energy to the catalysts (41) and heats the catalysts (41); a metallic plate (6) which is disposed below the catalysts (41); and a control device (8) which detects either a current flowing through the metallic plate (6) or a voltage of the metallic plate (6), and determines a state of contact between the catalysts (41) and the metallic plate (6). L'invention concerne une configuration dans un dispositif de formation de pellicule qui réalise un procédé de CVD catalysée dans lequel les problèmes causés par la déformation d'un catalyseur sont palliés et dont les coûts de réalisation et la productivité sont supérieurs. Le dispositif de formation de pellicule comprend : une chambre de traitement permettant de maintenir un état de décompression interne ; une conduite d'introduction de gaz (3) qui introduit un gaz de source prédéfini dans la chambre de traitement ; des catalyseurs (41) qui sont disposés dans la chambre de traitement de sorte que le gaz de source introduit par la conduite d'introduction de gaz (3) soit entre en contact avec sa surface, soit passe près de ladite surface ; une alimentation électrique (5) qui applique de l'énergie au catalyseur (41) et chauffe le catalyseur (41) ; une plaque métallique (6) qui est disposée sous le catalyseur (41) ; et un dispositif de commande (8) qui détecte soit un courant circulant à travers la plaque métallique (6) soit une tension de la plaque métallique (6), et détermine un état de contact entre le catalyseur (41) et la plaque métallique (6).