SUPPORT FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

A moveable semiconductor substrate support includes a control device receiving data from one or more sensors and providing control signals to one or more actuators. The control device is coupled to and moves with the moveable substrate support to facilitate flexible and complex operation of the subs...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LABERGE, MATTHEW, PALM, TROY, SOWDEN, RALPH, BARR, KEVIN, BENSON, DENNIS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	A moveable semiconductor substrate support includes a control device receiving data from one or more sensors and providing control signals to one or more actuators. The control device is coupled to and moves with the moveable substrate support to facilitate flexible and complex operation of the substrate support itself. La présente invention concerne un support pour substrat à semi-conducteur mobile comprenant un dispositif de commande recevant des données d'au moins un capteur et fournissant des signaux de commande à au moins un actionneur. Le dispositif de commande est couplé au support de substrat mobile et se déplace avec celui-ci pour faciliter le fonctionnement flexible et complexe du substrat de support lui-même.