MULTIPLE SECTION SHOWERHEAD ASSEMBLY

Embodiments of the present invention generally provide a method and apparatus that may be utilized for deposition of Group III-nitride films using MOCVD and/or HVPE hardware. In one embodiment, the apparatus is a showerhead assembly made of multiple sections that are isolated from one another and attached to a top plate. Each showerhead section has separate inlets and passages for delivering separate processing gases into a processing volume of a processing chamber without mixing the gases prior to entering the processing volume. In one embodiment, each showerhead section includes a temperature control manifold for flowing a cooling fluid through the respective showerhead section. By providing multiple, isolated showerhead sections, manufacturing complexity and costs are significantly reduced as compared to conventionally manufacturing the entire showerhead from a single block or stack of plates. La présente invention concerne de façon générale, dans ses différents modes de réalisation, un procédé et un appareil susceptibles d'être employés pour un dépôt de films de nitrure du Groupe III à l'aide d'un matériel de MOCVD et / ou de HVPE. Dans un mode de réalisation, l'appareil est un ensemble pomme de douche constitué de sections multiples isolées les unes des autres et fixées à une plaque supérieure. Chaque section de pomme de douche comprend des entrées et passages distincts servant à amener des gaz de traitement distincts dans un volume de traitement d'une chambre de traitement sans mélanger les gaz avant leur entrée dans le volume de traitement. Dans un mode de réalisation, chaque section de la pomme de douche comprend un collecteur de régulation de température servant à faire circuler un fluide de refroidissement à travers la section respective de pomme de douche. En aménageant des sections multiples isolées de pomme de douche, la complexité et les coûts de fabrication sont nettement réduits en comparaison de la fabrication conventionnelle d'une pomme de douche entière à partir d'un unique bloc ou empilement de plaques.