SYSTEMS, METHODS AND APPARATUS THAT EMPLOY STATISTICAL ANALYSIS OF STRUCTURAL TEST INFORMATION TO IDENTIFY YIELD LOSS MECHANISMS
A method for statistically analyzing structural test information to identify at least one yield loss mechanism includes executing a plurality of instructions on a computer system. The executed instructions cause the computer system to perform the steps of: 1) identifying potential root causes for it...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | A method for statistically analyzing structural test information to identify at least one yield loss mechanism includes executing a plurality of instructions on a computer system. The executed instructions cause the computer system to perform the steps of: 1) identifying potential root causes for items of structural test information obtained for a plurality of semiconductor devices; 2) statistically analyzing the items of structural test information to identify at least one non-random device failure signature within the items of structural test information; and 3) identifying from the potential root causes a probable root cause for at least a first of the at least one non-random device failure signature.
L'invention porte sur un procédé d'analyse statistique d'informations de test structurel qui permet d'identifier au moins un mécanisme de perte de rendement et qui consiste à exécuter une pluralité d'instructions sur un système informatique. Les instructions exécutées amènent le système informatique à exécuter les étapes suivantes : 1) l'identification des causes racines potentielles pour des éléments d'informations de test structurel obtenues pour une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ; 2) l'analyse statistique des éléments d'informations de test structurel afin d'identifier au moins une signature de défaillance de dispositif non aléatoire dans les éléments d'informations de test structurel, et 3) l'identification, à partir des causes racines potentielles, d'une cause racine probable pour au moins une première de la ou des signatures de défaillance de dispositif non aléatoire. |
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