OPTICAL MEASURING SYSTEM WITH ILLUMINATION PROVIDED THROUGH A VOID IN A COLLECTING LENS

An optical measuring system includes a scatterometer in which an illumination beam is provided through an aperture in a lens used to collect light for the scattering detection. The void may be a slit in the lens, a missing portion along an edge of the lens, or another suitable void. Another detection channel may be provided to detect light returning through the void in the collecting lens, for example, a profilometer may be implemented by detecting interference between reflected light returning along the illumination path and light from the illumination source. La présente invention concerne un système de mesure optique comportant un diffusomètre qui, pour détecter la diffusion, met en oeuvre un faisceau d'éclairage traversant une ouverture pratiquée dans une lentille utilisée pour recueillir la lumière. Le vide peut être une fente dans la lentille, une partie manquante le long d'un bord de la lentille, ou tout autre vide approprié. Le dispositif peut comporter un autre canal de détection servant à détecter la lumière retraversant en sens inverse le vide pratiqué dans la lentille collectrice, par exemple, un profilomètre fonctionnant par détection d'interférence entre la lumière réfléchie revenant par le chemin d'éclairage et la lumière provenant de la source d'éclairage.