OPTICAL MEASURING SYSTEM WITH MATCHED COLLECTION LENS AND DETECTOR LIGHT GUIDE

An optical surface inspection system provides dark-field detection avoiding ghost images and without capturing, stray, reflected or re-scattered light. The system includes an illumination system that generates an illumination spot on a surface under inspection collecting lens that collects substantially all light scattered from the surface under inspection from the illumination spot. The system also includes a light guide with a first end having a numerical aperture matched to an exit aperture of the collecting lens and a field of view matched to the illumination spot, and a second end coupled to a detector. La présente invention concerne un système optique d'examen de surface qui permet une détection de champ sombre, évitant les images fantômes et la capture de lumière parasite réfléchie ou rediffusée. Le système comporte un système d'éclairage qui produit un point d'éclairage sur une surface en cours d'examen, et une lentille collectrice qui recueille sensiblement toute la lumière diffusée depuis la surface examinée à partir du point d'éclairage. Le système comprend également un guide de lumière possédant une première extrémité comportant une ouverture numérique alignée avec une ouverture de sortie de la lentille collectrice et un champ de vision aligné avec le point d'éclairage, ainsi qu'une seconde extrémité couplée à un détecteur.