IDENTIFYING FEATURES ON A SURFACE OF AN OBJECT USING WAVELET ANALYSIS

A method and apparatus for inspecting a surface of an object. Data from measuring the surface of the object is obtained to form surface data for the object. A range of frequencies for features on the object is selected based on a range of distances between adjacent peaks for the features. The features are formed by a tool moving along a number of paths. Desired surface data for the features is obtained from the surface data using the range of frequencies selected. A determination is made as to whether the desired surface data for the features meets a policy specifying a desired surface for the object. In response to an absence of a determination that the desired surface data for the features meets the policy, the object is reworked. L'invention concerne un procédé et un appareil d'inspection de la surface d'un objet. Des données provenant de la mesure de la surface de l'objet sont obtenues pour former des données de surface pour l'objet. Une plage de fréquences pour des caractéristiques sur l'objet est sélectionnée sur la base d'une plage de distances entre des pics adjacents pour les caractéristiques. Les caractéristiques sont formées par un outil se déplaçant le long d'un nombre de trajets. Des données de surface voulues pour les caractéristiques sont obtenues à partir des données de surface à l'aide de la plage de fréquences sélectionnée. Il est déterminé si les données de surface voulues pour les caractéristiques satisfont une politique spécifiant une surface voulue pour l'objet. En réponse à une absence de détermination du fait que les données de surface voulues pour les caractéristiques satisfont la politique, l'objet est retravaillé.