SPUTTERING DEVICE WITH A TUBULAR TARGET

Die Erfindung betrifft eine Sputtereinrichtung mit rohrförmigem Target, umfassend eine Halteeinrichtung mit einer Tragwelle, die einen Wellenflansch aufweist, welcher durch eine Klemmeinrichtung lösbar und wasserdicht mit einem Targetrohr verbunden ist, wobei das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs flanschlos ist und an seiner Aussenseite an einer vorbestimmten Position ein Distanzring lösbar angeordnet ist, der durch Formschluss in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist, wobei die Klemmeinrichtung gebildet ist aus dem Wellenflansch der Tragwelle, dem Distanzring sowie einem den Wellenflansch und den Distanzring übergreifenden, aus mindestens zwei Teilstücken bestehenden Spannring, und wobei mindestens ein Dichtelement zwischen der Aussenseite oder/und der Stirnseite des Targetrohrs einerseits und einer gegenüberliegenden Dichtfläche des Wellenflansches andererseits angeordnet ist. The invention relates to a sputtering device with a tubular target, comprising a holding device with a supporting shaft, which has a shaft flange, which is connected to a target tube detachably and in a water-tight manner by means of a clamping device, wherein that end of the target tube which faces the shaft flange of the supporting shaft is without a flange and a spacer ring is arranged detachably on the outer side thereof in a predetermined position, said spacer ring being held by a form-fitting connection at a minimum distance from the end of the target tube, wherein the clamping device is formed from the shaft flange of the supporting shaft, the spacer ring and a clamping ring, which engages over the shaft flange and the spacer ring and comprises at least two pieces, and wherein at least one sealing element is arranged between the outer side and/or the end side of the target tube, on one side, and an opposite sealing face of the shaft flange on the other side. L'invention concerne un dispositif de pulvérisation cathodique à cible tubulaire, comprenant un dispositif de maintien pourvu d'un arbre porteur qui présente une bride d'arbre, laquelle est reliée de manière amovible et étanche à l'eau à une cible tubulaire par un dispositif de serrage. L'extrémité du tube cible orientée vers la bride de l'arbre porteur est exempte de bride et une bague d'écartement est disposée de manière libérable dans une position déterminée sur son côté extérieur et est maintenue par complémentarité de forme à une distance minimale de l'extrémité du