CHARGED PARTICLE COLLECTOR FOR A CMOS IMAGER

Charged particle sensing devices and methods of forming charged particle sensing devices are provided. The charged particle sensing device includes a source of charged particles, a plurality of collector electrodes for receiving a first portion of the charged particles and a grid formed around and spaced apart from the plurality of collector electrodes. The grid receives a second portion of the charged particles and directs backscattered charged particles, generated responsive to the second portion, to adjacent collector electrodes. L'invention concerne des dispositifs de détection de particules chargées et des procédés de formation de dispositifs de détection de particules chargées. Les dispositifs de détection de particules chargées comprennent une source de particules chargées, une pluralité d'électrodes collectrices qui permettent de recevoir une première partie des particules chargées et une grille formée autour de la pluralité d'électrodes collectrices et espacées par rapport à celles-ci. La grille reçoit une deuxième partie des particules chargées et dirige des particules chargées rétrodiffusées, générées en réponse à la deuxième partie, vers des électrodes collectrices adjacentes.