ASYMMETRIC SENSOR

An asymmetric sensor having asymmetric electrodes and/or being asymmetrically anchored provides enhanced sensitivity. In example embodiments, part of the electrode on a sensor is etched or removed resulting in enhanced mass-change sensitive resonant modes. In another example embodiment, a sensor is...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MUTHARASAN, RAJAKKANNU, LAKSHMANAN, RAMJI, S, SHARMA, HARSH, JOHNSON, BLAKE, N
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An asymmetric sensor having asymmetric electrodes and/or being asymmetrically anchored provides enhanced sensitivity. In example embodiments, part of the electrode on a sensor is etched or removed resulting in enhanced mass-change sensitive resonant modes. In another example embodiment, a sensor is anchored asymmetrically, also resulting in enhanced mass-change sensitive resonant modes. By asymmetrically anchoring a piezoelectric portion of a sensor, resonant bending modes of the sensor can be measured electrically without external instrumentation. Modifying the electrode of a piezoelectric cantilever enables expression of mass-change sensitive resonant modes that normally do not lend themselves to electrical measurement. L'invention porte sur un capteur asymétrique, ayant des électrodes asymétriques et/ou étant ancré d'une manière asymétrique, ce capteur assurant une meilleure sensibilité. Dans des modes de réalisation donnés à titre d'exemple, une partie de l'électrode se trouvant sur un capteur est gravée ou enlevée, ce qui conduit à des modes résonnants améliorés, sensibles aux variations de masse. Dans un autre mode de réalisation donné à titre d'exemple, un capteur est ancré d'une manière asymétrique, ce qui conduit aussi à des modes résonnants améliorés, sensibles aux variations de masse. Du fait de l'ancrage asymétrique d'une partie piézoélectrique d'un capteur, des modes de flexion par résonance du capteur peuvent être mesurés par voie électrique sans instruments externes. Une modification de l'électrode d'un porte-à-faux piézoélectrique permet l'expression de modes résonnants sensibles à des variations de masse, qui normalement ne se prêtent pas à une mesure électrique.