ACTIVE PLANAR AUTOFOCUS

A system for inspecting a constant layer depth relative to a particular device layer. The system has an image sensor with a fixed focal plane. A focus sensor senses the surface topography of the substrate and outputs a focus data stream. A stage moves the substrate in an XY plane, and a motor moves the substrate in a Z dimension. A controller operates the system in one of a setup mode and an inspection mode. In the setup mode the controller controls XY movement of the substrate so as to scan a first portion of the substrate. The controller receives the focus data stream, concurrently receives XY data, and stores correlated XYZ data for the substrate. In the inspection mode the controller controls XY movement of the substrate so as to scan a second portion of the substrate. The controller receives the focus data stream, concurrently receives XY data, and subtracts the stored Z data from the focus data stream to produce a virtual data stream. The controller feeds the virtual data stream plus an offset to the motor for moving the substrate up and down during the inspection, thereby holding the focal plane at a desired Z distance, regardless of the surface topography of the substrate. L'invention porte sur un système pour inspecter une profondeur de couche constante vis-à-vis d'une couche de dispositif particulière. Le système a un capteur d'image avec un plan focal fixe. Un capteur de focalisation détecte la topographie de surface du substrat et délivre en sortie un train de données de focalisation. Une platine déplace le substrat dans un plan XY, et un moteur déplace le substrat dans une dimension Z. Un dispositif de commande actionne le système dans l'un d'un mode d'établissement et d'un mode d'inspection. Dans le mode d'établissement, le dispositif de commande commande le mouvement XY du substrat de façon à balayer une première partie du substrat. Le dispositif de commande reçoit le train de données de focalisation, reçoit simultanément des données XY, et stocke des données XYZ corrélées pour le substrat. Dans le mode d'inspection, le dispositif de commande commande le mouvement XY du substrat de façon à balayer une seconde partie du substrat. Le dispositif de commande reçoit le train de données de focalisation, reçoit simultanément des données XY, et soustrait les données Z stockées du train de données de focalisation afin de produire un train de données virtuel. Le dispositif de commande injecte le train de données virtuel plus un décalage au moteur pour