CUSTOMIZABLE DISPENSE SYSTEM WITH SMART CONTROLLER

Embodiments disclosed provide a customizable dispense system implementing modular architecture, the customizable dispense system comprising a smart controller configured to operate various pneumatic pumps and motor pumps in various semiconductor manufacturing processes that are sensitive to defects in printed patterns. The smart controller is configured to, upon switching from communicating with a first pump to a second pump, automatically recognize the second pump and apply a control scheme to control the second pump, which may be a motor pump or a pneumatic pump. The s witching may be due to physical disconnection of the first pump and physical connection of the second pump or it can be entirely done via software. The smart controller may be connected to track and a variety of devices, including smart filters. Des modes de réalisations décrits concernent un système de distribution personnalisable mettant en oeuvre une architecture modulaire, le système de distribution personnalisable comprenant un dispositif de commande intelligent conçu pour actionner diverses pompes pneumatiques et motopompes dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs qui sont sensibles aux défauts présents sur les motifs imprimés. Le dispositif de commande intelligent est conçu pour, lors de la commutation d'une communication avec une première pompe à une communication avec une seconde pompe, reconnaître automatiquement la seconde pompe et appliquer un schéma de commande pour commander la seconde pompe, qui peut être une motopompe ou une pompe pneumatique. La commutation peut être due à une déconnexion physique de la première pompe et à une connexion physique de la seconde pompe ou elle peut être entièrement effectuée par l'intermédiaire d'un logiciel. Le dispositif de commande intelligent peut être connecté à une piste et à divers dispositifs, comprenant des filtres intelligents.