HOLE CREATION WITH MULTIPLE ELECTRODES

Vorrichtung zur Erzeugung von Löchern (12) in dielektrischen Werkstücken (1) in Form von dünnen Platten und Substraten, insbesondere aus Glas oder glasähnlichen Materialien sowie aus Halbleitern. Symmetrisch um das zu erzeugende Loch (12) im Werkstück (1) sind an einem Elektrodenhalter (21) einzelne Hochspannungselektroden (6a, 6b, 6c) und an einem Gegenelektrodenhalter (31) einzelne Gegenelektroden (7a, 7b, 7c) angeordnet. Die einzelnen Hochspannungselektroden (6a, 6b, 6c) und die einzelnen Gegenelektroden (7a, 7b, 7c) sind permutierend zur Abgabe von Hochspannungsüberschlägen mit einer Hochspannungsquelle verbindbar. A device for creating holes (12) in dielectric workpieces (1) in the form of thin sheets and substrates, in particular of glass or glass-like materials and semiconductors. Symmetrically around the hole (12) to be created in the workpiece (1), individual high-voltage electrodes (6a, 6b, 6c) are arranged on an electrode holder (21) and individual counter-electrodes (7a, 7b, 7c) are arranged on a counter-electrode holder (31). The individual high-voltage electrodes (6a, 6b, 6c) and the individual counter-electrodes (7a, 7b, 7c) can be connected in a permutating manner to a high-voltage source for the discharge of high-voltage flashovers. Dispositif pour ménager des trous (12) dans des pièces (1) diélectriques en forme de plaques minces et dans des substrats, notamment en verre ou en matériaux similaires au verre et en semi-conducteurs. De manière symétrique autour du trou (12) à réaliser dans la pièce (1), des électrodes haute tension (6a, 6b, 6c) individuelles sont disposées sur un porte-électrodes (21) et des électrodes antagonistes (7a, 7b, 7c) individuelles sont disposées sur un porte-électrodes (31) antagoniste. Les électrodes haute tension (6a, 6b, 6c) individuelles et les électrodes antagonistes (7a, 7b, 7c) individuelles peuvent être raccordées en alternance à une source de haute tension pour générer des amorçages haute tension.