ELECTRODES TO IMPROVE RELIABILITY OF NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS

The present invention provides for replacement of conventionally- used metal electrodes in NEMS devices with electrodes that include non-metallic materials comprised of diamond-like carbon or a dielectric coated metallic film having greater electrical contact resistance and lower adhesion with a con...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WEI, XIAODING, LOH, OWEN, Y, ESPINOSA, HORACIO, D
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention provides for replacement of conventionally- used metal electrodes in NEMS devices with electrodes that include non-metallic materials comprised of diamond-like carbon or a dielectric coated metallic film having greater electrical contact resistance and lower adhesion with a contacting nanostructure. This reduces Joule heating and stiction, improving device reliability. La présente invention a trait au remplacement des électrodes métalliques utilisées de façon conventionnelle dans des dispositifs de nanosystème électromécanique par des électrodes qui incluent des matériaux non métalliques constitués de carbone sous forme de diamant ou d'un film métallique à revêtement diélectrique doté d'une résistance de contact électrique supérieure et d'une adhésion inférieure avec une nanostructure de contact. Ceci permet de réduire le chauffage par effet Joule et la friction statique, ce qui permet d'améliorer la fiabilité du dispositif.