VARIABLE IMPEDANCE -MATCHING OR PHASE - SHIFTING TRANSFORMER

In a C02 gas discharge laser energized by a radio frequency (RF) power source a transformer (20) having selectively variable output impedance is used to match output impedance of the power source to the impedance of discharge electrodes of the laser. A similar transformer (40) can be used to impose a selective variable phase -shift on the RF power from the source. The variable impedance transformer can also be used for impedance matching between amplifier stages in the power source. The transformer comprises first (28, 46) and second (32, 48) transmission - line sections connected in series between and the load. Each of the first and second transmission - line sections having an electrical length equal to or less than about one- twelfth of a wavelength at the source- frequency. A selectively variable electrical component (Cv, Lv) is connected to the node between the first and second transmission - line sections to optimize the transfer of RF- power between the source and the load. L'invention concerne un transformateur (20), dans un laser à décharge à CO2 excité par une source d'énergie radiofréquence (RF), dont l'impédance de sortie est variable sélectivement, qui est utilisé pour adapter l'impédance de sortie de la source d'énergie à l'impédance des électrodes de décharge du laser. Un transformateur (40) similaire peut être utilisé pour appliquer un déphasage variable sélectivement à l'énergie RF produite par la source. Le transformateur à impédance variable peut également être utilisé pour l'adaptation d'impédance entre des étages amplificateurs dans la source d'énergie. Le transformateur comporte des premières (28, 46) et des secondes (32, 48) sections de transmission connectées en série entre la source et la charge. Chacune des sections de transmission possède une longueur électrique qui est inférieure ou égale à environ un douzième de la longueur d'onde à la fréquence de la source. Un composant électrique variable sélectivement (Cv, Lv) est connecté au noeud placé entre la première et la seconde section de transmission afin d'optimiser le transfert de l'énergie RF entre la source et la charge.