THERMAL EVAPORATION SOURCES WITH SEPARATE CRUCIBLE FOR HOLDING THE EVAPORANT MATERIAL

One aspect of the invention comprises a thermal evaporation source comprising an evaporant chamber, a heater for providing heat to the evaporation chamber; and a crucible in thermal communication with the evaporation chamber for containing a volume of evaporant. The evaporant chamber comprises a first material of construction, and the crucible comprises a second material of construction different from the first material of construction and having a lesser porosity with respect to the evaporant than the first material of construction. For example, for a copper evaporant, the evaporant chamber may comprise a sintered material, such as sintered graphite, and the crucible may comprise a pyrolytic material, such as pyrolytic graphite or pyrolytic boron nitride. Selon un aspect, l'invention concerne une source d'évaporation thermique qui comprend une chambre de matière à évaporer, un élément chauffant servant à apporter de la chaleur à la chambre d'évaporation ; et un creuset en communication thermique avec la chambre d'évaporation et destiné à contenir un volume de matière à évaporer. La chambre de matière à évaporer comprend un premier matériau de construction et le creuset comprend un second matériau de construction différent du premier matériau de construction et qui possède une porosité, relativement à la matière à évaporer, plus faible que celle du premier matériau de construction. Par exemple, pour une matière à évaporer composée de cuivre, la chambre de matière à évaporer peut comprendre une matière frittée, telle que du graphite fritté, et le creuset peut comprendre une matière pyrolytique, telle que du graphite pyrolytique ou du nitrure de bore pyrolytique.