PIXEL-LEVEL OPTICAL ELEMENTS FOR UNCOOLED INFRARED DETECTOR DEVICES

Pixel-level monolithic optical element configurations for uncooled infrared detectors and focal plane arrays in which a monolithically integrated or fabricated optical element may be suspended over a microbolometer pixel membrane structure of an uncooled infrared detector element A monolithic optical element may be, for example, a polarizing or spectral filter element, an optically active filter element, or a microlens element that is structurally attached by an insulating interconnect to the existing metal interconnects such that the installation of the optical element substantially does not impact the thermal mass or thermal time constant of the microbolometer pixel structure, and such that it requires little if any additional device real estate area beyond the area originally consumed by the microbolometer pixel structure interconnects. La présente invention concerne des configurations d'éléments optiques monolithiques au niveau des pixels pour détecteurs à infrarouge non refroidis et réseaux de plan focal dans lesquels un élément optique d'intégration ou de fabrication monolithique peut être suspendu sur une structure de membrane de pixels d'un micro-bolomètre d'un élément de détecteur à infrarouge non refroidi. Un élément optique monolithique peut être, par exemple, un élément polarisant ou de filtre spectral, un élément de filtre optiquement actif, ou un élément de microlentille qui est fixé structurellement par une interconnexion d'isolation aux interconnexions métalliques existantes de sorte que l'installation de l'élément optique ne présente aucun impact sensible sur la masse thermique ou la constante de temps thermique de la structure de pixels du micro-bolomètre, et de sorte qu'il ne nécessite qu'une très faible surface occupée additionnelle, le cas échéant, outre la surface occupée à l'origine par les interconnexions de la structure de pixels du micro-bolomètre.