SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD

A scanning electron microscope is characterized in that, upon conducting a pre-charging of a sample (100), electron beams are entered into the sample from a plurality of incident directions (403, 404), and the pre-charging radiation area is divided into a plurality of concentric ring-shaped areas (807, 813), and the electron beams are scanned with respect to each of the ring-shaped areas. Since this reduces the number of secondary electrons to be lost at the wall faces of contact holes, and enables obtaining of information about the bottom sections of the contact holes, an issue of electrification within the contact holes becoming nonuniform upon pre-charging due to the inclination of the electron beams, which makes observation difficult, has become solvable. La présente invention concerne un microscope électronique à balayage caractérisé en ce que, lorsqu'on effectue la précharge d'un échantillon (100), des faisceaux d'électrons sont amenés à pénétrer dans l'échantillon selon une pluralité de directions d'incidence (403, 404), la zone de rayonnement de précharge est divisée en une pluralité de zones annulaires concentriques (807, 813), et les faisceaux d'électrons sont animés d'un mouvement de balayage par rapport à chacune des zones annulaires. Comme cela réduit le nombre d'électrons secondaires perdus au niveau des faces des parois des trous de contact et comme cela permet d'obtenir des informations concernant les sections de fond des trous de contact, il devient possible de remédier à un problème d'électrification de l'intérieur des trous de contact qui deviennent irréguliers lors de la précharge du fait de l'inclinaison des faisceaux d'électrons, cela rendant l'observation difficile.