METHODS OF FORMING A THIN-FILM SOLAR ENERGY DEVICE

A method and apparatus for making solar cell active layers is provided. A doped microcrystalline semiconductor layer is formed with a bandgap-enhancing alloy material at low hydrogen flow rates. Deposition conditions are established at a low flowrate of the semiconductor source and ramped to a high flowrate as a first sublayer is deposited. The bandgap-enhancing alloy material is added to the reaction mixture to deposit a second sublayer. The bandgap-enhancing alloy material may optionally be stopped to deposit a third sublayer. Cette invention concerne un procédé et un appareil permettant d'obtenir des couches actives de cellules solaires. Une couche de semi-conducteur microcristallin dopé est formée à partir d'un matériau d'alliage améliorant la bande interdite à de bas débits d'hydrogène. Les conditions de déposition sont définies à un bas débit de la source du semi-conducteur et sont accélérées pour atteindre un débit élevé quand une première sous-couche est déposée. Le matériau d'alliage améliorant la bande interdite est ajouté au mélange réactionnel pour déposer une deuxième sous-couche et il peut éventuellement être arrêté pour déposer une troisième sous-couche.