VAPOR COMPRESSION REFRIGERATION CHUCK FOR ION IMPLANTERS

Aspects of the present invention relate to ion implantation systems that make use of a vapor compression cooling system. In one embodiment, a thermal controller in the vapor compression system sends refrigeration fluid though a compressor and a condenser according to an ideal vapor compression cycle to help limit or prevent undesired heating of a workpiece during implantation, or to actively cool the workpiece. Certains aspects de la présente invention ont trait à des systèmes d'implantation ionique qui utilisent un système frigorifique à compression. Selon un mode de réalisation, un organe de régulation thermique présent dans le système frigorifique à compression envoie un fluide frigorigène à travers un compresseur et un condensateur conformément à un cycle frigorifique à compression idéal afin de pouvoir limiter ou empêcher le chauffage indésirable d'une pièce au cours de l'implantation, ou afin de refroidir activement la pièce.