VENTILATION GAS MANAGEMENT SYSTEMS AND PROCESSES

A ventilation gas management system and process for an enclosure adapted to contain fluid supply vessel(s) and through which ventilation gas is flowed to provide safe operation in the event of leakage of fluid from a vessel. Ventilation gas flow is modulated to accommodate various hazard levels associated with the deployment and operation of such enclosure containing fluid supply vessel(s), e.g., a gas box or gas cabinet in a semiconductor manufacturing facility, thereby achieving reduction in ventilation gas requirements otherwise required for such deployment and operation. La présente invention se rapporte à un système et à un processus de gestion de gaz de ventilation destinés à une enceinte conçue pour contenir un ou des récipients d'alimentation en fluide et dans laquelle s'écoule un gaz de ventilation pour garantir un fonctionnement sécurisé en cas de fuite de fluide d'un récipient. Un écoulement de gaz de ventilation est modulé pour s'adapter à divers niveaux de risques associés au déploiement et au fonctionnement d'une telle enceinte contenant un ou des récipients d'alimentation en fluide, par exemple un caisson à gaz ou une armoire à gaz dans une installation de fabrication de semi-conducteurs, ce qui permet de réaliser une diminution des exigences en matière de gaz de ventilation qui sont autrement nécessaires pour de tels déploiement et fonctionnement.