HUMIDITY DETECTION SENSOR

Disclosed is a humidity detection sensor having a parallel flat plate shape in which there is no variability of sensitivity. The humidity detection sensor includes: a substrate (51); a sensor unit which has a humidity-sensitive region (A) wherein a humidity-sensitive polymer film (54) having a dielectric constant that varies in accordance with humidity is disposed on the substrate (51) and held between a pair of electrodes (53), (55), the humidity-sensitive polymer film (54) being partially exposed to the external environment; and a protective layer (56) which is formed at least on the upper electrode (55) of the pair of electrodes. The humidity detection sensor has a region (C) which includes a humidity-sensitive polymer film (54) of substantially the same thickness as the thickness of the humidity-sensitive polymer film (54) held between the pair of electrodes, and which is in the vicinity of the upper electrode (55), within the region (region (B) + region (C)) other than the humidity-sensitive region (A). L'invention concerne un capteur de détection d'humidité présentant une forme de plaque plate parallèle exempte de variabilité de sensibilité. Le capteur selon l'invention comprend : un substrat (51) ; une unité capteur comprenant une zone de sensibilité à l'humidité (A) dans laquelle un film polymère sensible à l'humidité (54) présentant une constante diélectrique qui varie en fonction de l'humidité est disposé sur le substrat (51) et maintenu entre une paire d'électrodes (53, 55), le film polymère (54) étant partiellement exposé à l'environnement externe ; et une couche protectrice (56) formée au moins sur l'électrode supérieure (55) de la paire d'électrodes. Le capteur de détection d'humidité comporte une zone (C) qui comprend un film polymère sensible à l'humidité (54) d'épaisseur sensiblement identique à celle du film polymère (54) maintenu entre la paire d'électrodes, et qui se trouve à proximité de l'électrode supérieure (55), dans la zone (zone (B) + zone (C)) autre que la zone de sensibilité à l'humidité (A).