ACCELERATION SENSOR

Disclosed is an acceleration sensor provided with sensor sections comprising: a weight section which is integrally formed from a concave section which opens on one surface of the acceleration sensor, and a solid section which does not include the concave section; a pair of beam sections which rotatably support the weight section so that the concave section and the solid section are aligned along the rotational axis of the weight section; a movable electrode provided across the concave section and the solid section on the opposite surface to the surface on which the concave section opens; a first fixed electrode which is disposed in the position where the movable electrode opposes the convex section side; and a second fixed electrode which is disposed in the position where the movable electrode opposes the solid section side. The acceleration sensor detects acceleration from the change in capacitance between the fixed electrodes and the movable electrode which follows the rotation of the weight section which has the rotational axis along the direct line connecting the beam sections. The acceleration sensor is characterized in that the beam sections are disposed offset on the concave section side in such a way that the angle formed between a perpendicular dropped from the centre of gravity of the weight section to the surface of the movable electrode is approximately 45 degrees. L'invention concerne un capteur d'accélération pourvu de sections de capteur comportant; une section de poids entièrement formée par une section concave s'ouvrant sur une surface du capteur d'accélération et une section solide ne contenant pas la section concave; une paire de sections de faisceaux supportant rotativement la section de poids de telle manière que la section concave et la section solide sont alignées le long de l'axe de rotation de la section de poids; une électrode mobile disposée à travers la section concave et la section solide sur la surface opposée à la surface sur laquelle s'ouvre la section concave; une première électrode fixe disposée dans la position dans laquelle l'électrode mobile s'oppose au côté de la section convexe; et une deuxième électrode fixe disposée dans la position dans laquelle l'électrode mobile s'oppose au côté de la section solide. Le capteur d'accélération détecte une accélération à partir d'un changement de capacité entre les électrodes fixes et l'électrode mobile suivant la rotation de la section de poids ayant l'axe de rotation le long de l