EXPOSURE APPARATUS, EXPOSING METHOD, AND DEVICE FABRICATING METHOD

An exposure apparatus includes: a first moving body, which comprises guide members that extend in a first direction, moves in a second direction, which is substantially orthogonal to the first direction; two second moving bodies (WCS2), which are provided such that they are capable of moving in the first direction along the guide members, move in the second direction together with the guide members by the movement of the first moving body; a holding apparatus (WFS2) holds the object and is supported by the two second moving bodies such that it is capable of moving within a two dimensional plane that includes at least the first directions and the second directions; and a transport apparatus (102), which comprises a chuck member (108) that can noncontactually hold the object from above, transports the object to and from the holding apparatus. La présente invention concerne un appareil d'exposition comportant un premier corps mobile, deux seconds corps mobiles (WCS2), un appareil de maintien (WFS2), et un appareil de transport (102). Le premier corps mobile, qui comprend des éléments guides disposés dans un premier sens, se déplace dans un deuxième sens sensiblement perpendiculaire au premier sens. Les deux seconds corps mobiles (WCS2), qui sont disposés de façon à être capables de se déplacer dans le premier sens le long des éléments guides, se déplacent dans le second sens en même temps que les éléments guides du fait du déplacement du premier corps mobile. L'appareil de maintien (WFS2), qui maintient l'objet, est supporté par les deux seconds corps mobiles de façon à être capable de déplacement à l'intérieur d'un plan défini au moins par le premier sens et le second sens. Enfin, l'appareil de transport (102), qui comprend un élément à mandrin (108) capable de maintenir sans contact l'objet de dessus, transporte l'objet vers et depuis l'appareil de maintien.