ENERGY SAVINGS AND GLOBAL GAS EMISSIONS MONITORING

Methods and apparatus for enhanced control, monitoring and recording of incoming chemical and power use, and emissions of electronic device manufacturing systems are provided. In some embodiments, integrated sub-fab system systems may monitor the energy usage of the sub-fab equipment. The tool can enter many different depths of energy savings modes such as idle (shallow energy savings where production equipment can recover to normal production with no quality or throughput impact in seconds), sleep (deeper energy savings where production equipment can recover in minutes), or hibernate (where production equipment may require hours to recover not to have impact on quality, or throughput) for the system. In some embodiments, the system may monitor and display all gas emissions in a sub-fab as well as the Semi S23 method reporting of CO2 equivalent emission. The system may monitor effluent process gases and energy use from the process tool and sub-fab equipment. La présente invention concerne des procédés et un appareil pour une commande, une surveillance et un enregistrement améliorés de l'utilisation de produits chimiques entrants et d'énergie, et des émissions de systèmes de fabrication de dispositifs électroniques. Dans certains modes de réalisation, des systèmes de sous-fabrication intégrés peuvent surveiller l'utilisation d'énergie de l'équipement de sous-fabrication. L'outil peut entrer de nombreux niveaux différents de modes d'économie d'énergie du système tels que le ralenti (faibles économies d'énergie où l'équipement de production peut revenir à la production normale sans impact sur la qualité ou le rendement, en quelques secondes), la veille (plus importantes économies d'énergie où l'équipement de production peut se rétablir en quelques minutes) ou l'hibernation (où l'équipement de production peut nécessiter plusieurs heures pour se rétablir non sans avoir un impact sur la qualité ou le rendement). Dans certains modes de réalisation, le système peut surveiller et afficher toutes les émissions de gaz dans une sous-fabrication ainsi que le rapport du procédé Semi S23 des émissions en équivalent CO2. Le système peut surveiller les gaz utilisés d'effluents et l'utilisation énergétique à partir de l'outil du procédé et de l'équipement de sous-fabrication.