CONTROLS INTERFACE SOLUTION FOR ENERGY SAVINGS

Methods and apparatus for enhanced control over electronic device manufacturing systems are provided herein. In some embodiments, the integrated sub-fab system may employ Ethernet and/or RS232 Serial communications through an open platform of apparatus to achieve a reduced carbon footprint during electronic device manufacturing. For this example, the system could include a process tool set and controller linked by sensors or software interconnect with one or more sub-fab or local factory auxiliary systems that can be operated in one or more states of energy consumption. These one or more auxiliary systems can be switched between different levels of energy consumption, as required by the process, via the controller. For many auxiliary components or systems the integrated sub-fab system utilizes existing signal outputs, for others they may employ secondary sensors or monitors. L'invention concerne des procédés et des appareils permettant une commande améliorée sur des systèmes de fabrication de dispositifs électroniques. Dans certains modes de réalisation, le système de sous-fabrication intégré peut employer Ethernet et/ou des communications en série RS232 par le biais d'une plate-forme d'appareil ouverte pour obtenir une empreinte à teneur réduite en carbone pendant la fabrication des dispositifs électroniques. Pour cet exemple, le système peut comprendre un outillage de processus et un contrôleur lié par des capteurs ou une interconnexion du logiciel avec un ou plusieurs systèmes auxiliaires d'usine locaux ou de sous-fabrication qui peuvent être exploités dans un ou plusieurs états de consommation d'énergie. Ce ou ces systèmes auxiliaires peuvent être commutés entre différents niveaux de consommation d'énergie, selon les besoins du processus, au moyen du contrôleur. Pour de nombreux composants ou systèmes auxiliaires, le système de sous-fabrication intégré utilise les sorties de signaux existantes. Pour d'autres, il peut employer des capteurs ou moniteurs secondaires.