METHOD FOR DETERMINING THE INNER STRUCTURE OF A SAMPLE

Es wird beschrieben ein Verfahren zur Bestimmung der inneren Struktur einer Probe, wobei mittels optischer Weglängen erfassender Abbildungen Schnittbilder in mindestens einer ersten, in die Probe hineinverlaufenden Ebene erzeugt werden, wobei längs einer ersten Abbildungsrichtung ein erstes Schnittbild der Probe das in der in die Probe hineinverlaufenden Ebene liegt, erzeugt wird, längs einer zweiten Abbildungsrichtung ein zweites Schnittbild der Probe, das ebenfalls in der in die Probe hineinverlaufenden Ebene liegt, erzeugt wird, erste optische Koordinaten mindestens eines Strukturelementes im ersten Schnittbild und zweite optische Koordinaten des mindestens einen Strukturelementes im zweiten Schnittbild ermittelt werden, und aus ersten und zweiten Koordinaten die bei den Abbildungen wirksame Brechzahl ermittelt und damit brechzahlbeeinflussungskorrigierte physikalische Koordinaten des mindestens einen Strukturelementes bestimmt werden. The invention relates to a method for determining the inner structure of a sample, wherein sectional views in at least one first plane extending into the sample are generated by means of images capturing optical path lengths, wherein along a first imaging direction a first sectional view of the sample is generated, which is located in the plane extending into the sample, along a second imaging direction a second sectional view of the sample is generated, which is likewise located in the plane extending into the sample, first optical coordinates of at least one structural element are determined in the first sectional image and second optical coordinates of the at least one structural element are determined in the second sectional image, and the refractive index effective for the images is determined from the first and second coordinates, and in this way refractive index influence-corrected physical coordinates of the at least one structural element are determined. L'invention concerne un procédé de détermination de la structure interne d'un échantillon qui consiste à produire, au moyen de représentations couvrant des longueurs de trajet optique, des images en coupe dans au moins un premier plan s'étendant à l'intérieur de l'échantillon. Une première image en coupe de l'échantillon qui se situe dans le plan s'étendant à l'intérieur de l'échantillon est produite dans une première direction de représentation, une seconde image en coupe de l'échantillon qui se situe également dans le plan s'étendant à l'intérieur de l'échantil