PLASMA ION SOURCE

A plasma ion source comprises a cathode chamber (1) including a gas-inlet branch pipe (2). A hollow anode (3) forms an anode chamber (4). An emission electrode (11) of an ion extraction system is arranged in an outlet of the anode chamber (4). Between the cathode and anode chambers there is an additional electrode (5) with orifices (9) formed therein. Protrusions are formed on the surface of the additional electrode (5). The anode chamber (4) comprises a grounded casing (7) to which the additional electrode (5) is electrically connected. A magnetic system comprises a magnetomotive force source made in the form of an electromagnetic coil (15) arranged coaxially with respect to the additional electrode (5). An induction vector of a magnetic field produced in the cathode and anode chambers has a predominantly axial direction. The magnetic induction decreases in the axial direction from the additional electrode (5) to the emission electrode (11) and from the additional electrode (9) to the end wall of the cathode chamber (1). L'invention concerne une source d'ions à plasma comprenant une chambre de cathode (1) dotée d'un conduit de dérivation d'entrée de gaz (2). Une anode creuse (3) forme une chambre d'anode (4). Une électrode d'émission (11) d'un système d'extraction d'ions est agencée dans une sortie de la chambre d'anode (4). Une électrode supplémentaire (5) dotée d'orifices (9) formés dans cette dernière est disposée entre les chambres de cathode et d'anode. Des saillies sont formées sur la surface de l'électrode supplémentaire (5). La chambre d'anode (4) comprend un boîtier mis à la masse (7) auquel l'électrode supplémentaire (5) est électriquement connectée. Un système magnétique comprend une source de force magnétomotrice sous forme d'un enroulement électromagnétique (15) agencé de manière coaxiale par rapport à l'électrode supplémentaire (5). Un vecteur d'induction de champ magnétique produit dans les chambres de cathode et d'anode présente une direction axiale prédominante. L'induction magnétique décroît dans la direction axiale de l'électrode supplémentaire (5) vers l'électrode d'émission (11) et de l'électrode supplémentaire (9) vers la paroi d'extrémité de la chambre de cathode (1).