METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE HAVING A COLORED INTERFERENCE FILTER LAYER, SAID SUBSTRATE COMPRISING A COLORED INTERFERENCE FILTER LAYER, THE USE OF SAID SUBSTRATE AS A COLORED SOLAR CELL OR AS A COLORED SOLAR MODULE OR AS A COMPONENT THEREOF, AND

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit einer farbigen Interferenzfilterschicht, enthaltend polykristallines Metalloxid oder polykristalline Metalloxide, durch, insbesondere physikalische oder chemische, Gasphasenabscheidung mit einer Beschichtungsanlage, insbesondere mit Hilfe eines Sputtergases, bei dem man aus der Gasphase mindestens zwei, insbesondere mindestens sechs, Beschichtungslagen jeweils aufeinander unter Ausbildung von polykristallinen Metalloxiden abscheidet mit einer durchschnittlichen Dicke der jeweiligen Beschichtungslagen im Bereich von etwa 50 nm bis 350 nm, insbesondere im Bereich von etwa 90 nm bis 210 nm, wobei die gemittelten prozentualen atomaren Anteile mindestens eines, insbesondere jedes einzelnen, der in jeweils mindestens zwei, insbesondere sämtlichen, Beschichtungslagen, enthaltenen Metalle um nicht mehr als +/-20 Atom-%, vorzugsweise um nicht mehr als +/-10 Atom-% und besonders bevorzugt um nicht mehr als +/-5 Atom-%, von der gemittelten prozentualen Zusammensetzung der jeweiligen Metalle in der Interferenzfilterschicht abweichen, wobei 100 Atom-% die Summe aller in der Schicht enthaltenen Metalle bezeichnet. Des weiteren betrifft die Erfindung ein nach diesem Verfahren erhältliches farbiges Substrat sowie ein Array, enthaltend eine Vielzahl an solchen Substraten. The present invention relates to a method for producing a substrate having a colored interference filter layer, comprising polycrystalline metal oxide or polycrystalline metal oxides, by gas phase deposition, particularly physical or chemical, using a coating system, particularly by means of a sputter gas, wherein at least two, particularly at least six coating layers are deposited from the gas phase, each on top of the other, forming polycrystalline metal oxides having an average thickness of each coating layer in the range of about 50 nm to 250 nm, particularly in the range of about 90 nm to 210 nm, wherein the averaged percentual atomic components of at least one, particularly of each individual metal present in at least two, particularly in all coating layers deviates from the averaged percentual composition of each metal by no more than +/-20 % atoms, preferably by no more than +/-10% atoms, and particularly preferably by no more than +/-5% atoms, wherein 100% atoms is the sum of all metals present in the layer. The invention further relates to a colored substrate that can be obtained by means of said method, and an