STACKABLE MULTI-PORT GAS NOZZLES

One embodiment provides a reactor for material deposition. The reactor includes a chamber and at least one gas nozzle. The chamber includes a pair of susceptors, each having a front side and a back side. The front side mounts a number of substrates. The susceptors are positioned vertically so that the front sides of the susceptors face each other, and the vertical edges of the susceptors are in contact with each other, thereby forming a substantially enclosed narrow channel between the substrates mounted on different susceptors. The gas nozzle includes a gas-inlet component situated in the center and a detachable gas-outlet component stacked around the gas-inlet component. The gas-inlet component includes at least one opening coupled to the chamber, and is configured to inject precursor gases into the chamber. The detachable gas-outlet component includes at least one opening coupled to the chamber, and is configured to output exhaust gases from the chamber. L'invention, selon un mode de réalisation, porte sur un réacteur pour une déposition de matériau. Le réacteur comprend une chambre et au moins une buse de gaz. La chambre comprend une paire de suscepteurs, comportant chacun un côté avant et un côté arrière. Le côté avant supporte un certain nombre de substrats. Les suscepteurs sont positionnés verticalement, de telle sorte que les côtés avant des suscepteurs se font mutuellement face, et que les bords verticaux des suscepteurs sont en contact entre eux, de façon à former ainsi un canal étroit sensiblement renfermé entre les substrats montés sur différents suscepteurs. La buse de gaz comprend un composant d'entrée de gaz situé au centre et un composant de sortie de gaz détachable empilé autour du composant d'entrée de gaz. Le composant d'entrée de gaz comprend au moins une ouverture couplée à la chambre, et est configuré de façon à injecter des gaz de précurseur dans la chambre. Le composant de sortie de gaz détachable comprend au moins une ouverture couplée à la chambre, et est configuré de façon à délivrer en sortie des gaz d'échappement à partir de la chambre.