FABRICATION OF A FLOATING ROCKER MEMS DEVICE FOR LIGHT MODULATION

The current disclosure shows how to make a fast switching array of mirrors for projection displays. Because the mirror does not have a via in the middle connecting to the underlying spring support, there is an improved contrast ratio that results from not having light scatter off the legs or vias like existing technologies. Because there are no supporting contacts, the mirror can be made smaller making smaller pixels that can be used to make higher density displays. In addition, because there is not restoring force from any supporting spring support, the mirror stays in place facing one or other direction due to adhesion. This means there is no need to use a voltage to hold the mirror in position. This means that less power is required to run the display. La présente invention montre comment réaliser un changement rapide d'un ensemble de miroirs pour des affichages par projection. Du fait que le miroir ne présente pas en son milieu un trou d'interconnexion se raccordant au support de ressort sous-jacent, il y a un meilleur rapport de contraste qui résulte de la non-diffusion de la lumière à partir des branches ou des trous d'interconnexion, contrairement aux technologies existantes. Du fait qu'il n'y a pas de contacts de soutien, la taille du miroir peut être réduite, ce qui permet de réduire des pixels qui peuvent être utilisés pour fabriquer des affichages de densité plus importante. De plus, du fait qu'il n'y a pas de force de rappel provenant d'un quelconque support de ressort de soutien, le miroir reste en place en étant orienté dans l'une ou l'autre direction du fait de l'adhésion. Ceci signifie qu'il n'y a pas besoin d'utiliser une tension pour garder le miroir en position. Ceci signifie qu'on a besoin de moins de courant pour faire fonctionner l'affichage.