THREE-DIMENSIONAL MAPPING OF A SAMPLE STRUCTURE

Es wird beschrieben ein Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optischen Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optischen Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, im ersten Bild erste Vergleichsstrukturen und im zweiten Bild zweite Vergleichsstrukturen ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichsstrukturen sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichsstrukturen im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichsstrukturen im zweiten Bild. The invention relates to a method for determining an inner structure of a sample, wherein a first optical method is used to obtain a first image of the inner structure of the sample that reproduces the locations of scattering centers in the sample with a first spatial resolution, wherein the mapping using the first optical method is subject to a distortion by refractive index variations in the sample, a second optical method is used to obtain a second image of the inner structure of the sample reflecting the locations of scattering centers in the sample, wherein the mapping using the second optical method is not subject to any distortion or to lower distortion by refractive index variations in the sample, and wherein the second image has a second spatial resolution that is lower than the first spatial resolution, first comparison structures are determined in the first image and second comparison structures are determined in the second image, wherein the first and second comparison structures correspond to each other and originate from the same sample structures, and a refractive index distribution that relat