IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION
In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output pow...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | HSU, WEI-YUNG MANENS, ANTOINE P THOTHADRI, MANIVANNAN SHIU, TING-RUEI SHAMOUN, BASSAM |
| description | In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device.
L'invention concerne des systèmes et des procédés de métrologie en ligne utilisables avec des systèmes de traçage au laser utilisés dans la fabrication des piles solaires. Ces procédés et ces systèmes peuvent impliquer une variété de composants, par exemple, un dispositif pour mesurer la quantité de puissance fournie à un laser, un mesureur de puissance pour mesurer la puissance de sortie du laser, un dispositif de visualisation de faisceau pour mesurer les aspects d'un faisceau laser, un capteur de hauteur pour mesurer la hauteur d'une pièce à usiner, un microscope pour mesurer les caractéristiques de la pièce à usiner formées par le systèmes de traçage au laser, et un système pour contrôler un système de traçage au laser et pour fournir un ou plusieurs messages d'alerte et/ou d'erreur lorsque les limites opérationnelles sont dépassées. Des procédés de métrologie en ligne peuvent également comprendre le traitement de réflexions de faisceaux de sortie de manière à poursuivre la dérive du faisceau dans le temps et/ou permettre la mise au point d'un dispositif d'imagerie. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_WO2011017570A3</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>WO2011017570A3</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_WO2011017570A33</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZHDw9NP18fRzVfB1DQny9_F3jwSxPPxdghUc_VwUgiODQ1x9gxXc_IMUgv19HIMUnF19fBTcHJ2CPJ0dQzz9_XgYWNMSc4pTeaE0N4Oym2uIs4duakF-fGpxQWJyal5qSXy4v5GBoaGBobmpuYGjsTFxqgBTTSuC</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION</title><source>esp@cenet</source><creator>HSU, WEI-YUNG ; MANENS, ANTOINE P ; THOTHADRI, MANIVANNAN ; SHIU, TING-RUEI ; SHAMOUN, BASSAM</creator><creatorcontrib>HSU, WEI-YUNG ; MANENS, ANTOINE P ; THOTHADRI, MANIVANNAN ; SHIU, TING-RUEI ; SHAMOUN, BASSAM</creatorcontrib><description>In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device.
L'invention concerne des systèmes et des procédés de métrologie en ligne utilisables avec des systèmes de traçage au laser utilisés dans la fabrication des piles solaires. Ces procédés et ces systèmes peuvent impliquer une variété de composants, par exemple, un dispositif pour mesurer la quantité de puissance fournie à un laser, un mesureur de puissance pour mesurer la puissance de sortie du laser, un dispositif de visualisation de faisceau pour mesurer les aspects d'un faisceau laser, un capteur de hauteur pour mesurer la hauteur d'une pièce à usiner, un microscope pour mesurer les caractéristiques de la pièce à usiner formées par le systèmes de traçage au laser, et un système pour contrôler un système de traçage au laser et pour fournir un ou plusieurs messages d'alerte et/ou d'erreur lorsque les limites opérationnelles sont dépassées. Des procédés de métrologie en ligne peuvent également comprendre le traitement de réflexions de faisceaux de sortie de manière à poursuivre la dérive du faisceau dans le temps et/ou permettre la mise au point d'un dispositif d'imagerie.</description><language>eng ; fre</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING ; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING ; DEVICES USING STIMULATED EMISSION ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC ; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS ; MACHINE TOOLS ; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; PERFORMING OPERATIONS ; REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION ; SEMICONDUCTOR DEVICES ; SOLDERING OR UNSOLDERING ; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS ; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE ; TRANSPORTING ; WELDING ; WORKING BY LASER BEAM</subject><creationdate>2011</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20110616&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2011017570A3$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20110616&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2011017570A3$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>HSU, WEI-YUNG</creatorcontrib><creatorcontrib>MANENS, ANTOINE P</creatorcontrib><creatorcontrib>THOTHADRI, MANIVANNAN</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIU, TING-RUEI</creatorcontrib><creatorcontrib>SHAMOUN, BASSAM</creatorcontrib><title>IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION</title><description>In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device.
L'invention concerne des systèmes et des procédés de métrologie en ligne utilisables avec des systèmes de traçage au laser utilisés dans la fabrication des piles solaires. Ces procédés et ces systèmes peuvent impliquer une variété de composants, par exemple, un dispositif pour mesurer la quantité de puissance fournie à un laser, un mesureur de puissance pour mesurer la puissance de sortie du laser, un dispositif de visualisation de faisceau pour mesurer les aspects d'un faisceau laser, un capteur de hauteur pour mesurer la hauteur d'une pièce à usiner, un microscope pour mesurer les caractéristiques de la pièce à usiner formées par le systèmes de traçage au laser, et un système pour contrôler un système de traçage au laser et pour fournir un ou plusieurs messages d'alerte et/ou d'erreur lorsque les limites opérationnelles sont dépassées. Des procédés de métrologie en ligne peuvent également comprendre le traitement de réflexions de faisceaux de sortie de manière à poursuivre la dérive du faisceau dans le temps et/ou permettre la mise au point d'un dispositif d'imagerie.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING</subject><subject>CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING</subject><subject>DEVICES USING STIMULATED EMISSION</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC</subject><subject>GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS</subject><subject>MACHINE TOOLS</subject><subject>METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><subject>SOLDERING OR UNSOLDERING</subject><subject>TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS</subject><subject>TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE</subject><subject>TRANSPORTING</subject><subject>WELDING</subject><subject>WORKING BY LASER BEAM</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2011</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZHDw9NP18fRzVfB1DQny9_F3jwSxPPxdghUc_VwUgiODQ1x9gxXc_IMUgv19HIMUnF19fBTcHJ2CPJ0dQzz9_XgYWNMSc4pTeaE0N4Oym2uIs4duakF-fGpxQWJyal5qSXy4v5GBoaGBobmpuYGjsTFxqgBTTSuC</recordid><startdate>20110616</startdate><enddate>20110616</enddate><creator>HSU, WEI-YUNG</creator><creator>MANENS, ANTOINE P</creator><creator>THOTHADRI, MANIVANNAN</creator><creator>SHIU, TING-RUEI</creator><creator>SHAMOUN, BASSAM</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20110616</creationdate><title>IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION</title><author>HSU, WEI-YUNG ; MANENS, ANTOINE P ; THOTHADRI, MANIVANNAN ; SHIU, TING-RUEI ; SHAMOUN, BASSAM</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2011017570A33</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2011</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING</topic><topic>CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING</topic><topic>DEVICES USING STIMULATED EMISSION</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC</topic><topic>GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS</topic><topic>MACHINE TOOLS</topic><topic>METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><topic>SOLDERING OR UNSOLDERING</topic><topic>TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS</topic><topic>TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE</topic><topic>TRANSPORTING</topic><topic>WELDING</topic><topic>WORKING BY LASER BEAM</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>HSU, WEI-YUNG</creatorcontrib><creatorcontrib>MANENS, ANTOINE P</creatorcontrib><creatorcontrib>THOTHADRI, MANIVANNAN</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIU, TING-RUEI</creatorcontrib><creatorcontrib>SHAMOUN, BASSAM</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>HSU, WEI-YUNG</au><au>MANENS, ANTOINE P</au><au>THOTHADRI, MANIVANNAN</au><au>SHIU, TING-RUEI</au><au>SHAMOUN, BASSAM</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION</title><date>2011-06-16</date><risdate>2011</risdate><abstract>In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device.
L'invention concerne des systèmes et des procédés de métrologie en ligne utilisables avec des systèmes de traçage au laser utilisés dans la fabrication des piles solaires. Ces procédés et ces systèmes peuvent impliquer une variété de composants, par exemple, un dispositif pour mesurer la quantité de puissance fournie à un laser, un mesureur de puissance pour mesurer la puissance de sortie du laser, un dispositif de visualisation de faisceau pour mesurer les aspects d'un faisceau laser, un capteur de hauteur pour mesurer la hauteur d'une pièce à usiner, un microscope pour mesurer les caractéristiques de la pièce à usiner formées par le systèmes de traçage au laser, et un système pour contrôler un système de traçage au laser et pour fournir un ou plusieurs messages d'alerte et/ou d'erreur lorsque les limites opérationnelles sont dépassées. Des procédés de métrologie en ligne peuvent également comprendre le traitement de réflexions de faisceaux de sortie de manière à poursuivre la dérive du faisceau dans le temps et/ou permettre la mise au point d'un dispositif d'imagerie.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | eng ; fre |
| recordid | cdi_epo_espacenet_WO2011017570A3 |
| source | esp@cenet |
| subjects | BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING DEVICES USING STIMULATED EMISSION ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION SEMICONDUCTOR DEVICES SOLDERING OR UNSOLDERING TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM |
| title | IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-26T14%3A26%3A25IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=HSU,%20WEI-YUNG&rft.date=2011-06-16&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EWO2011017570A3%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |