IN-LINE METROLOGY METHODS AND SYSTEMS FOR SOLAR CELL FABRICATION

In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device. L'invention concerne des systèmes et des procédés de métrologie en ligne utilisables avec des systèmes de traçage au laser utilisés dans la fabrication des piles solaires. Ces procédés et ces systèmes peuvent impliquer une variété de composants, par exemple, un dispositif pour mesurer la quantité de puissance fournie à un laser, un mesureur de puissance pour mesurer la puissance de sortie du laser, un dispositif de visualisation de faisceau pour mesurer les aspects d'un faisceau laser, un capteur de hauteur pour mesurer la hauteur d'une pièce à usiner, un microscope pour mesurer les caractéristiques de la pièce à usiner formées par le systèmes de traçage au laser, et un système pour contrôler un système de traçage au laser et pour fournir un ou plusieurs messages d'alerte et/ou d'erreur lorsque les limites opérationnelles sont dépassées. Des procédés de métrologie en ligne peuvent également comprendre le traitement de réflexions de faisceaux de sortie de manière à poursuivre la dérive du faisceau dans le temps et/ou permettre la mise au point d'un dispositif d'imagerie.