UPSTREAM VOLUME MASS FLOW VERIFICATION SYSTEMS AND METHODS

This disclosure relates to mass flow verification systems for and methods of measuring and verifying the mass flow through a mass flow delivery / measurement device such as a mass flow controller. A mass flow verification system comprises a preset volume, a temperature sensor, and a pressure sensor. The measured verified flow determined by the mass flow verification system can be adjusted to compensate for errors resulting from a dead volume within the mass flow measurement device. L'invention porte sur des systèmes de vérification de débit massique et sur des procédés de mesure et de vérification du débit massique à travers un dispositif de mesure/distribution de débit massique tel qu'un dispositif de commande de débit massique. Un système de vérification de débit massique comprend un volume préétabli, un capteur de température et un capteur de pression. L'écoulement vérifié mesuré déterminé par le système de vérification de débit massique peut être réglé pour compenser des erreurs résultant d'un volume mort à l'intérieur du dispositif de mesure de débit massique.