APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE IN A SYSTEM FOR PROCESSING LARGE-SIZED SUBSTRATE

Disclosed is an apparatus for conveying a substrate in a system for processing a large-sized substrate. The apparatus enables a boat mounted with plural substrates to be easily conveyed in a vertical direction within a chamber which provides a substrate processing space in a system which processes a large-sized substrate for a flat display. In addition, the apparatus enables production costs to be reduced through the decreased number of configuration elements and is easily maintained and managed. The apparatus according to the present invention is applied to the system for processing a large-sized substrate and comprises: a single motor unit (M) which generates power for conveying a substrate; plural speed reduction units (200) which reduce the rotating speed of the motor unit (M); and plural driving units (300) which convey a substrate while being moved in the vertical direction by the power transmitted through the speed reduction units (200), wherein the motor unit (M) is directly connected to the speed reduction units (200) and the plural driving units (300) are simultaneously driven by the motor unit (M). L'invention porte sur un dispositif pour transporter un substrat dans un système destiné à traiter un substrat de grandes dimensions. Le dispositif permet à un support portant plusieurs substrats d'être facilement transporté dans une direction verticale à l'intérieur d'une chambre qui offre un espace de traitement de substrats dans un système qui traite un substrat de grandes dimensions destiné à un dispositif d'affichage plat. En outre, le dispositif permet de réduire les coûts de production par la diminution du nombre d'éléments de configuration et est facile à entretenir et à gérer. Le dispositif selon la présente invention est appliqué au système destiné à traiter un substrat de grandes dimensions et il comprend : une seule unité motrice (M) qui génère de l'énergie pour transporter un substrat ; plusieurs unités de réduction de vitesse (200) qui réduisent la vitesse de rotation de l'unité motrice (M) ; et plusieurs unités d'entraînement (300) qui transportent un substrat pendant qu'il est déplacé dans la direction verticale par l'énergie transmise par l'intermédiaire des unités de réduction de vitesse (200), l'unité motrice (M) étant directement reliée aux unités de réduction de vitesse (200) et les différentes unités d'entraînement (300) étant entraînées simultanément par l'unité motrice.