PROCESS MODULE FOR THE INLINE-TREATMENT OF SUBSTRATES

The present invention relates to an apparatus and a method for the fluidic inline-treatment of flat substrates with at least one process module. In particular, the invention relates to such a treatment during the gentle and controlled transport of the substrates, wherein the treatment can also just relate to the transport of the substrates. According to the invention, a process module 1 is provided which comprises a treatment chamber 2 having at least one treatment surface 7A being substantially horizontally arranged in a treatment plane 5 and being designed for the formation of a lower fluid cushion 6A, wherein two openings in the form of entry 3 and exit 4 for the linear feed-through of the substrates 22 in the same plane are assigned to the treatment surface 7A, and at least one feed device with at least one catch 10 for the controlled feed 9 of the substrates 22 within the treatment chamber 2. Furthermore, the invention provides a method using the apparatus according to the invention. La présente invention concerne un appareil et un procédé pour le traitement fluidique en ligne de substrats plats avec au moins un module de traitement. En particulier, l'invention concerne un tel traitement pendant le transport doux et contrôlé des substrats, le traitement pouvant également concerner simplement le transport des substrats. Selon l'invention, un module de traitement 1 est fourni, ledit module comprenant une chambre de traitement 2 comportant au moins une surface de traitement 7A agencée sensiblement horizontalement dans un plan de traitement 5 et conçue pour la formation d'un coussin de fluide inférieur 6A, deux ouvertures sous la forme d'une entrée 3 et d'une sortie 4 pour l'alimentation linéaire en substrats 22 dans le même plan étant affectées à la surface de traitement 7A, et au moins un dispositif d'alimentation avec un ou plusieurs cliquets 10 pour l'alimentation contrôlée 9 des substrats 22 dans la chambre de traitement 2. En outre, l'invention concerne un procédé utilisant l'appareil selon l'invention.