GAS DELIVERY IN A MICROSCOPE SYSTEM

Disclosed are systems and methods for applying a voltage gradient to a gas delivery system, delivering a gas through a length of the gas delivery system having the voltage gradient, the gas having a pressure-distance product of less than about 1x10-2 Torr-inches or greater than about 100 Torr-inches...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PERCIVAL, RANDALL, NOTTE, JOHN A., IV, WARD, BILLY W
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Disclosed are systems and methods for applying a voltage gradient to a gas delivery system, delivering a gas through a length of the gas delivery system having the voltage gradient, the gas having a pressure-distance product of less than about 1x10-2 Torr-inches or greater than about 100 Torr-inches, and delivering the gas into a housing of an ion microscope, the housing including an emitter and an extractor. La présente invention concerne des systèmes et procédés pour appliquer un gradient de tension à un système d'amenée de gaz, amener un gaz à travers une longueur du système d'amenée de gaz ayant le gradient de tension, le gaz ayant un produit pression-distance inférieur à environ 1x10-2 Torr-pouces ou supérieur à environ 100 Torr-pouces, et amener le gaz dans le logement d'un microscope ionique, ce logement comprenant un émetteur et un extracteur.