GAS FIELD ION MICROSCOPES HAVING MULTIPLE OPERATION MODES

The disclosure relates to ion beams systems, such as gas field ion microscopes, having multiple modes of operation, as well as related methods. In some embodiments, the disclosure provides a method of operating a gas field ion microscope system that includes a gas field ion source, where the gas field ion source includes a tip including a plurality of atoms. The method can include operating the gas field ion microscope system in a first mode including interacting a first ion beam with a sample, where at least about 80% of the ions in the first ion beam are generated by a first number of atoms of the plurality of atoms of the tip. The method can also include operating the gas field ion microscope system in a second mode in a second mode including interacting a second ion beam with the sample, where at least about 80% of the ions in the second ion beam are generated by a second number of atoms of the plurality of atoms of the tip. The first mode is different from the second mode, and the first number of atoms is different from the second number of atoms. L'invention porte sur des systèmes à faisceaux d'ions, tels que des microscopes ioniques à effet de champ en milieu gazeux, ayant de multiples modes de fonctionnement, ainsi que sur des procédés correspondants. Dans certains modes de réalisation, l'invention porte sur un procédé d'exploitation d'un système de microscope ionique à effet de champ en milieu gazeux qui comprend une source d'ions gazeux à effet de champ, la source d'ions gazeux à effet de champ comprenant une pointe comprenant une pluralité d'atomes. Le procédé peut consister à exploiter le système de microscope ionique à effet de champ en milieu gazeux dans un premier mode comprenant l'interaction d'un premier faisceau d'ions avec un échantillon, au moins environ 80 % des ions dans le premier faisceau d'ions étant générés par un premier nombre d'atomes de la pluralité d'atomes de la pointe. Le procédé peut également consister à exploiter le système de microscope ionique à effet de champ en milieu gazeux dans un second mode comprenant l'interaction d'un second faisceau d'ions avec l'échantillon, au moins environ 80 % des ions dans le second faisceau d'ions étant générés par un second nombre d'atomes de la pluralité d'atomes de la pointe. Le premier mode est différent du second mode, et le premier nombre d'atomes est différent du second nombre d'atomes.