AUTOMATED SUBSTRATE HANDLING AND FILM QUALITY INSPECTION IN SOLAR CELL PROCESSING

The present invention generally provides an apparatus and a method for automatically calibrating the placement of fragile substrates into a substrate carrier. Embodiments of the present invention also provide an apparatus and a method for inspecting the fragile substrates prior to processing to prevent damaged substrates from being further processed or broken in subsequent transferring steps. Embodiments of the invention also generally provide an apparatus and a method for determining the alignment and orientation substrates that are to be delivered into or removed from a substrate carrier. Embodiments of the invention further provide an apparatus and method for accurately positioning the substrate carrier for substrate loading. The substrate carriers are generally used to support a batch of substrates that are to be processed in a batch processing chamber. La présente invention porte d'une manière générale sur un appareil et sur un procédé pour calibrer automatiquement le placement de substrats fragiles dans un support de substrat. Des modes de réalisation de la présente invention portent également sur un appareil et sur un procédé pour inspecter les substrats fragiles avant traitement pour empêcher des substrats endommagés d'être traités davantage ou cassés dans des étapes de transfert ultérieures. Des modes de réalisation de l'invention portent également généralement sur un appareil et sur un procédé pour déterminer les substrats d'alignement et d'orientation qui doivent être distribués dans ou retirés d'un support de substrat. Des modes de réalisation de l'invention portent en outre sur un appareil et sur un procédé pour positionner de manière précise le support de substrat pour un chargement de substrat. Les supports de substrat sont généralement utilisés pour supporter un lot de substrats qui doivent être traités dans une chambre de traitement par lot.