METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING AN ELECTRICAL CONNECTION TO GRAPHENE

A method and apparatus, the method comprising: forming a recess in a graphene layer wherein the recess creates a boundary between a first portion of the graphene layer and a second portion of the graphene layer; depositing electrically insulating material within the recess; and depositing an electri...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KAERKKAEINEN, ASTA, LECHNER, LORENZ, LEHTINIEMI, REIJO, HAKONEN, PERTTI, HAQUE, SAMIUL MD
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method and apparatus, the method comprising: forming a recess in a graphene layer wherein the recess creates a boundary between a first portion of the graphene layer and a second portion of the graphene layer; depositing electrically insulating material within the recess; and depositing an electrically conductive material over the insulating material. L'invention porte sur un procédé et un appareil, le procédé comportant : la formation d'un renfoncement dans une couche de graphène, le renfoncement créant une frontière entre une première partie de la couche de graphène et une seconde partie de la couche de graphène ; le dépôt d'un matériau électriquement isolant dans le renfoncement, et le dépôt d'un matériau électriquement conducteur sur le matériau isolant.