METHOD FOR THE PRECISE MEASURING OPERATION OF A MICROMECHANICAL ROTATION RATE SENSOR

Verfahren zum präzisen Messbetrieb eines mikromechanischen Drehratensensors, umfassend zumindest eine auslenkbar aufgehängte seismische Masse (1, 15, 20), wenigstens eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der seismischen Masse (1, 15, 20) und mindestens ein erstes (2, 11, 18) und ein zweites (3, 12, 19) Trimm-Elektrodenelement, welche der seismischen Masse (1, 15, 20) direkt oder indirekt gemeinsam zugeordnet sind, wobei zwischen dem erstem Trimm- Elektrodenelement (2, 11, 18) und der seismischen Masse (1, 15, 20) eine erste elektrische Trimmspannung (UT01, UTL01, UTR01) sowie zwischen dem zweiten Trimm-Elektrodenelement (3, 12, 19) und der seismischen Masse (1, 15, 20) eine zweite elektrische Trimmspannung (UT02, UTL02, UTR02) eingestellt werden, wobei die erste und die zweite elektrische Trimmspannung zumindest in Abhängigkeit eines Quadraturparameters (UT) und eines Resonanzparameters (Uf) eingestellt werden. The invention relates to a method for the precise measuring operation of a micromechanical rotation rate sensor, comprising at least one deflectably suspended seismic mass (1, 15, 20), at least one drive system for driving the seismic mass (1, 15, 20), and at least one first (2, 11, 18) and one second (3, 12, 19) trimming electrode element, which are jointly associated directly or indirectly with the seismic mass (1, 15, 20), wherein a first electrical trimming voltage (UT01, UTL01, UTR01) is set between the first trimming electrode element (2, 11, 18) and the seismic mass (1, 15, 20) and a second electrical trimming voltage (UT02, UTL02, UTR02) is set between the second trimming electrode element (3, 12, 19) and the seismic mass (1, 15, 20), wherein the first and the second electrical trimming voltage are set at least according to a quadrature parameter (UT) and a resonance parameter (Uf). L'invention concerne un procédé pour assurer une mesure précise avec un capteur de lacet micromécanique comprenant au moins une masse sismique (1, 15, 20), suspendue de façon à pouvoir subir un fléchissement, au moins un dispositif d'entraînement pour l'entraînement de la masse sismique (1, 15, 20) et au moins un premier élément électrode de compensation (2, 11, 18) et un second élément électrode de compensation (3, 12, 19), lesquels sont affectés conjointement à la masse sismique (1, 15, 20) directement ou indirectement, une première tension de compensation électrique (UT01, UTL01, UTR01) étant appliquée entre le premier élément électrode de compensation (2, 11