SCANNING FORCE MICROSCOPE

Die Erfindung betrifft ein Rasterkraftmikroskop, das für verschiedene Untersuchungen an Oberflächen von Proben einsetzbar ist. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Rasterkraftmikroskop zur Verfügung zu stellen, mit dem Oberflächenbereiche von Proben detektierbar sind, die in Bezug zur mittleren Längsachse eines Federbalkens des Rasterkraftmikroskops in einem steil geneigten Winkel ausgerichtet sind. Bei einem erfindungsgemäßen Rasterkraftmikroskop ist mindestens eine Sensorspitze an einem Federbalken angeordnet, deren sensitiver Bereich in einem Abstand zum Federbalken angeordnet ist. Dabei ist der an einer Stirnseite ge- haltene und mit mindestens einem Aktuator in Schwingung versetzbare Federbalken mit Sensorspitze und Probe relativ zueinander entlang mindestens einer Achse bewegbar. Der sensitive Bereich einer Sensorspitze und/oder der Fußpunkt einer Sensorspitze sind am Federbalken in einem Abstand und neben der mittleren Längsachse des Federbalkens angeordnet. Allein oder zusätzlich kann die Sensorspitze in Bezug zur mittleren Längsachse des Federbalkens in einem Winkel < 90° abgewinkelt oder gekrümmt sein. The invention relates to a scanning force microscope, which can be used for different examinations of the surfaces of samples. The aim of the invention is to provide a scanning force microscope, by which surface regions of samples can be detected, which are oriented at a steeply inclined angle with respect to the central longitudinal axis of a cantilever of the scanning force microscope. In the scanning force microscope according to the invention, at least one sensor tip is disposed on the cantilever, the sensitive region of which is disposed at a distance from the cantilever. To this end, the cantilever which is held on a face and can be prompted to oscillate using at least one actuator can be moved with the sensor tip and sample relative to each other along at least one axis. The sensitive region of a sensor tip and/or the base of a sensor tip are disposed on the cantilever with a distance and next to the center longitudinal axis of the cantilever. Either alone or additionally, the sensor tip can be angled or curved at an angle of < 90º with respect to the center longitudinal axis of the cantilever. L'invention concerne un microscope à force atomique à balayage qui peut être utilisé pour différentes analyses sur les surfaces d'échantillons. Le but de l'invention est de mettre à disposition un microscope à force atomique à balayage avec lequel des zo