SELF-SUPPORTING CVD DIAMOND FILM AND METHOD FOR PRODUCING A SELF-SUPPORTING CVD DIAMOND FILM

Die Erfindung betrifft eine selbsttragende CVD-Diamantfolie, umfassend eine Mehrzahl übereinander lagernder Diamantschichten (8), wobei eine Unterseite jeder Diamantschicht (8) aus Diamant mit einer ersten mittleren Kristallgröße von 2 bis 50 nm gebildet ist, wobei die mittlere Kristallgröße innerha...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KELLERMANN, KARSTEN, FANDREY, JAN, ROSIWAL, STEFAN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft eine selbsttragende CVD-Diamantfolie, umfassend eine Mehrzahl übereinander lagernder Diamantschichten (8), wobei eine Unterseite jeder Diamantschicht (8) aus Diamant mit einer ersten mittleren Kristallgröße von 2 bis 50 nm gebildet ist, wobei die mittlere Kristallgröße innerhalb der Diamantschicht (8) von der Unterseite hin zu einer Oberseite der Diamantschicht (8) zunimmt und wobei eine zweite mittlere Kristallgröße im Bereich der Oberseite 50 bis 500 nm beträgt. The invention relates to a self-supporting CVD diamond film comprising a plurality of diamond layers (8) lying one over the other, wherein a lower side of each diamond layer (8) is made of diamond having a first average crystal size of 2 to 50 nm, wherein the average crystal size increases within the diamond layer (8) from the lower side to an upper side of the diamond layer (8), and wherein a second average crystal size in the area of the upper side is 50 to 500 nm. La présente invention concerne une feuille autoportante en diamant obtenue par dépôt chimique en phase vapeur, et constituée d'un empilement d'une pluralité de couches en diamant (8). Dans chaque couche en diamant (8), le cristal passe progressivement d'un premier calibre compris entre 2 et 50 nm, au niveau de la face inférieure, à un second calibre compris entre 50 et 500 nm, au niveau de la face supérieure.