METROLOGY AND INSPECTION SUITE FOR A SOLAR PRODUCTION LINE

Embodiments of the present invention generally relate to a system used to form solar cell devices using processing modules adapted to perform one or more processes in the formation of the solar cell devices. In one embodiment, the system is adapted to form thin film solar cell devices by accepting a large unprocessed substrate and performing multiple deposition, material removal, cleaning, sectioning, bonding, and various inspection and testing processes to form multiple complete, functional, and tested solar cell devices that can then be shipped to an end user for installation in a desired location to generate electricity. In one embodiment, the system provides inspection of solar cell devices at various levels of formation, while collecting and using metrology data to diagnose, tune, or improve production line processes during the manufacture of solar cell devices. La présente invention concerne en général, selon certains modes de réalisation, un système utilisé pour former des dispositifs solaires à l'aide de modules de traitement conçus pour exécuter un ou plusieurs procédés au cours de la formation des dispositifs solaires. Dans un mode de réalisation, le système est conçu pour former des dispositifs solaires à couches minces, par la réception d'un grand substrat non traité et la réalisation de multiples processus de dépôt, d'élimination de matériau, de nettoyage, de découpage et de collage, ainsi que de divers processus d'inspection et de test, afin de former de multiples dispositifs solaires complets, fonctionnels et testés qui peuvent être expédiés à un utilisateur final pour être installés dans un emplacement souhaité afin de produire de l'électricité. Dans un mode de réalisation, le système permet l'inspection de dispositifs solaires à divers niveaux de formation, tout en recueillant et utilisant des données métrologiques pour le diagnostic, l'ajustement ou l'amélioration des processus de la chaîne de production au cours de la fabrication des dispositifs solaires.