SOLID THIN-FILM SECONDARY BATTERY AND METHOD FOR MANUFACTURING SOLID THIN-FILM SECONDARY BATTERY

By continuously film-forming a negative electrode (an active material layer and a collector layer) using one same target in the negative electrode formation process during the production procedure of a solid thin-film lithium secondary battery, the apparatus can be reduced in size and the production procedure can be simplified. Specifically disclosed is a solid thin-film secondary battery wherein the negative electrode active material is composed of niobium oxide, the negative electrode collector is composed of niobium, and a negative electrode active material layer (5) and a negative electrode collector layer (6) are continuously film-formed by DC sputtering using one same niobium metal target. Since only one kind of target metal is required for film-forming the negative electrode active material layer (5) and the negative electrode collector layer (6), the production apparatus can be reduced in size and the production procedure can be simplified. Selon la présente invention, par la formation en continu par couches d'une électrode négative (une couche de matière active et une couche collectrice) à l'aide de la même cible dans le procédé de formation de l'électrode négative au cours de la procédure de fabrication d'une batterie secondaire au lithium à couches minces solides, la taille de l'appareil peut être réduite et la procédure de fabrication peut être simplifiée. L'invention concerne en particulier une batterie secondaire à couches minces solides, la matière active d'électrode négative étant composée d'oxyde de niobium, le collecteur d'électrode négative étant composé de niobium, et une couche de matière active d'électrode négative (5) et une couche collectrice d'électrode négative (6) étant formées en continu par couches par pulvérisation cathodique c.c. à l'aide de la même cible métallique en niobium. Du fait qu'un seul type de métal cible est nécessaire pour former par couches la couche de matière active d'électrode négative (5) et la couche collectrice d'électrode négative (6), la taille de l'appareil peut être réduite et la procédure de fabrication peut être simplifiée.