METHOD FOR NONCONTACT MEASUREMENT OF SURFACE SHAPE AND DEVICE THEREOF

Even if return light (L') from a work to be measured (1) does not match with the center of a two-section sensor (S), when a voltage difference between the two sensors (a, b) of the two-section sensor (S) falls within a vicinal range, the amount of movement of an objective lens means (4) until the objective lens means (4) is focused (until the return light (L') coincides with the center of the two-section sensor) can be computed by computing a correction value from the voltage difference and adding the correction value to the actual vertical position of the objective lens (4). Selon l'invention, même si une lumière de retour (L') provenant d'une pièce à travailler devant être mesurée (1) ne correspond pas au centre d'un détecteur à deux sections (S), lorsqu'une différence de tension entre les deux détecteurs (a, b) du détecteur à deux sections (s) tombe dans une plage voisine, la quantité de mouvement d'un moyen formant lentille objectif (4) jusqu'à ce que le moyen de lentille objectif (4) soit focalisé (jusqu'à ce que la lumière de retour (L') coïncide avec le centre du détecteur à deux sections (L)) peut être calculée par calcul d'une valeur de correction à partir de la différence de tension et addition de la valeur de correction à la position verticale réelle de la lentille objectif (4).