DEFECT DETECTION AND RESPONSE

To increase inspection throughput, the field of view of an infrared camera can be moved over the sample at a constant velocity. Throughout this moving, a modulation can be provided to the sample and infrared images can be captured using the infrared camera. Moving the field of view, providing the modulation, and capturing the infrared images can be synchronized. The infrared images can be filtered to generate the time delay lock-in thermography, thereby providing defect identification. This filtering can account for the number of pixels of the infrared camera in a scanning direction. For the case of optical modulation, a dark field region can be provided for the field of view throughout the moving, thereby providing an improved signal-to-noise ratio during filtering. Localized defects can be repaired by a laser integrated into the detection system or marked by ink for later repair in the production line. Pour accélérer une inspection, on peut déplacer le champ de vision d'une caméra sur un échantillon à une vitesse constante. Sur la totalité du déplacement, on peut effectuer une modulation sur l'échantillon et capturer des images infrarouges au moyen de la caméra infrarouge. Le déplacement du champ de vision, l'exécution d'une modulation et la capture des images infrarouges peuvent être synchronisés. Les images infrarouges peuvent être filtrées pour générer une thermographie à démodulation synchrone à retard temporel, ce qui permet d'identifier un défaut. Un filtrage permet de tenir compte du nombre de pixels de la caméra infrarouge dans une direction de balayage. Dans le cas d'une modulation optique, on peut utiliser une région de champ noir pour le champ de vision sur la totalité du déplacement, ce qui permet d'améliorer le rapport signal/bruit pendant le filtrage. Les défauts localisés peuvent être réparés au moyen d'un laser intégré dans le système de détection ou au moyen d'un repère à l'encre pour une réparation ultérieure dans la ligne de production.