METHOD FOR INTERFEROMETRIC DETECTION OF SURFACES

The invention relates to a method for imaging a microfabricated device comprising at least one oscillating component. The method comprises stroboscopically illuminating in an interferometric setup said component in synchronized relationship with the excitation of the device, and detecting interference light in synchronized relationship with the illumination and excitation. According to the invention the component is illuminated at a wavelength band which is at least partly transmissible by the component, and the positions of at least two separate surfaces of the component of interest are determined based on the interference light detected at least at two temporal phases of excitation of the device. The invention provides an efficient method for in-depth characterization of micromechanical structures that provide only one-sided access during operation. La présente invention concerne un procédé pour la formation d'images d'un dispositif micro-fabriqué comportant au moins un composant oscillant. Le procédé comprend l'éclairage stroboscopique dans un montage interférométrique dudit composant dans une relation synchronisée avec l'excitation du dispositif, et la détection d'une lumière d'interférence dans une relation synchronisée avec l'éclairage et l'excitation. Selon l'invention, le composant est éclairé au niveau d'une bande de longueurs d'onde qui est au moins en partie transmissible par le composant, et les positions d'au moins deux surfaces séparées du composant d'intérêt sont déterminées en fonction de la lumière d'interférence détectée au niveau d'au moins deux phases temporelles d'excitation du dispositif. L'invention constitue un procédé efficace pour la caractérisation en profondeur de structures micromécaniques qui offrent seulement un accès par un seul côté lors de leur fonctionnement.